5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%

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5nm & # x5DE5& # x827AASML & # x534A;& # x5BFC& # x4F53& # x6280& # x672F说到荷兰的ASML公司,我们都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都依赖于他们的设备。 然而,ASML不仅在掩模对准器方面实力强大。今天他们又公布了一款新产品——第一代HMI多束探测器HMI eScan1000,适用于5nm及更先进的工艺,产能提升了600%。 随着工艺技术的不断提高,晶圆的制造越来越复杂,这也会导致晶圆出现更多的误差。HMI eScan1000是基于HMI多束技术的检测系统,内部也有复杂的光电子系统,可以产生和控制多束电子束,然后根据反射的电子束成像分析晶圆质量,并且有高速平台控制待测晶圆数量,有计算系统处理电子束的数据。 简单来说,ASML开发的HMI eScan1000机器是一个验证先进技术生产的晶圆质量的系统。技术越先进,检测系统越重要,其检测精度和吞吐量决定了生产效率。 ASML HMI escan 1000的突破在于可以同时产生和控制9束电子束,因此生产率提高了600%,可以大大减少晶圆质量分析的时间。 目前HMI eScan1000可用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试,并已交付客户测试验证。未来,ASML将引进更多的beams测试设备,以满足客户对先进工艺的要求。

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